ซิลิคอนคาร์ไบด์ Cantilevers Paddle
รายละเอียดผลิตภัณฑ์และการใช้งาน
แรงโหลดของเวเฟอร์ขนาดใหญ่ซิลิกอนคาร์ไบด์พาย / คานคาน SiSiC / SiC เหมาะสำหรับระบบขนถ่ายและขนถ่ายอัตโนมัติของหุ่นยนต์เนื่องจากมีสมรรถนะที่มั่นคงไม่เสียรูปในอุณหภูมิสูงและแรงโหลดเวเฟอร์ขนาดใหญ่ เนื่องจากส่วนของไม้พายมีความมั่นคงโดยไม่มีการเสียรูปจึงสามารถสร้างเวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้นได้โดยใช้ท่อเตาที่มีอยู่ กำลังโหลดแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ซิลิกอนคาร์ไบด์ไม้พาย / คานคาน SiSiC / SiC สามารถนำไปใช้กับ LPVCD บนพื้นฐานของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่คล้ายกันด้วยการเคลือบ LPVCD ซึ่งช่วยยืดระยะเวลาการบำรุงรักษาและการทำความสะอาดได้อย่างมากและลดสารมลพิษได้อย่างมาก
พารามิเตอร์ทางเทคนิคของปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ถูกผูกมัด RBSIC:
สิ่งของ | หน่วย | ข้อมูล |
อุณหภูมิของการใช้งาน | ℃ | 1380 |
ความหนาแน่น | G / cm3 | > = 3.02 |
เปิดรูพรุน | % | <0.1 |
มาตราส่วนความแข็งของ Moh | 13 | |
แรงดัด | Mpa | 250 (20 องศาเซลเซียส) |
Mpa | 280 (1200 องศาเซลเซียส) | |
โมดูลัสของความยืดหยุ่น | Gpa | 330 (20 & องศา;) |
Gpa | 300 (1200 องศาเซลเซียส) | |
การนำความร้อน | W / mk | 45 (1200 องศาเซลเซียส) |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | K-1 * 10-6 | 4.5 |
ด่างป้องกันกรด | ยอดเยี่ยม |
คุณสมบัติ:
ก. ไม่ทำให้เสียรูปที่อุณหภูมิสูงและกำลังโหลดแผ่นเวเฟอร์มีขนาดใหญ่
ข. ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยมและอายุการใช้งานยาวนาน
ค. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของไม้พายคานมีค่าน้อยมากซึ่งช่วยยืดวงจรการบำรุงรักษาและการทำความสะอาด
และลดมลพิษลงอย่างมาก
เฟอร์นิเจอร์เตาเผาอื่น ๆ ที่ทำจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์
นอกเหนือจากปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiSiC Cantilever paddle สำหรับการโหลดเวเฟอร์แล้วเรายังผลิตเฟอร์นิเจอร์เตาเผาอื่น ๆ รวมถึงคานซิลิกอนคาร์ไบด์ RBSIC / SISIC ท่อหัวฉีดท่อหัวฉีดเกลียวท่อหัวฉีดหมุนออกไซด์ที่ผูกมัด SIC ซิลิกอนคาร์ไบด์แบต / แผ่น setter และท่อระบายความร้อน RBSIC .
สวมผลิตภัณฑ์ซิลิกอนคาร์ไบด์ RBSIC / SISIC ที่ทน
เนื่องจากผลิตภัณฑ์ซิลิกอนคาร์ไบด์ RBSIC / SISIC ของเรามีข้อได้เปรียบในเรื่องความทนทานต่อการสึกหรอทนต่อการกัดกร่อนและอายุการใช้งานที่ยาวนานจึงสามารถทำเป็นวัสดุบุกันการสึกหรอซึ่งสามารถติดตั้งได้ง่ายในท่อแปรรูปหรือไซโคลน